檢索結果：共8筆資料 檢索策略： "sputter".ekeyword (精準) and year="101"
個人化服務 ：
排序：
每頁筆數：
已勾選0筆資料
1
本研究以磁控濺鍍之方式，製作氧化白金(Oxide Platinum)、純白金(Pure Platinum) 以及共濺鍍Pt + YSZ 等三種不同電極於多孔性陽極氧化鋁(anodic aluminu…
2
由於能源危機的出現，使得再生能源備受全世界矚目。其中太陽能電池為最具有潛力能取代石化燃料的絕佳選擇之一。在此領域裡，硒化銅銦鎵薄膜太陽能電池已經被研究並使用一段時間了。然而，稀有元素銦和鎵的使用，造…
3
此實驗以反應式離子束濺鍍法成長氧化銀薄膜，採用毛細式離子源(6∼8 kV、100∼500 uA)及陽極層離子源 (0.7 kV、13.5 mA) ，同時通入氬氣及氧氣，氬氣為濺鍍氣體，氧氣為反應氣體…
4
鉬在硒化銅銦鎵或銅鋅錫硫這類太陽能電池中扮演著電極的角色。若在高瓦數，高溫製程下，可使鉬薄膜有較低的電阻極好的結晶度，但卻需消耗較高的能量，且不適用於軟性基版。本研究利用直流電漿濺鍍沉積鉬薄膜於自組…
5
此研究以反應式離子束濺鍍法於SiO2/Si基版及石英基板上沉積氧化銅/氧化亞銅薄膜，探討氬/氧流量及基板溫度對所沉積氧化銅/氧化亞銅薄膜之影響。研究結果顯示在300℃或400℃所沉積之氧化銅/氧化亞…
6
目前市面上已被廣泛使用的記憶體，如:動態隨機存取記憶體(DRAM, Dynamic Random Access Memory)及快閃記憶體(flash memory)等，在元件的尺寸大小及密度都已達…
7
本研究以積體電路相匹配之Al、TaN作為上、下電極，以取代昂貴之白金(Pt)作為電極，並採用微波電漿氧化或反應式濺鍍製備中間電阻層TaOxNy，製成Al/TaOxNy/TaN、TaN/TaOxNy/…
8
本研究利用一個簡單的方法成長有機矽烷自組裝單分子薄膜於透明基板上。特別是PET基板表面可經由化學修飾卻不會受到化學破壞，藉由照射紫外光臭氧燈使得PET基板表面產生大量親水基團，也可使自組裝單分子薄膜…